εταιρικά νέα για Φυσίγγια φίλτρου πολτού CMP για την κατασκευή ημιαγωγών

Ένα φυσίγγιο φίλτρου πολτού CMP είναι ένα στοιχείο φιλτραρίσματος υψηλής απόδοσης που χρησιμοποιείται στη διαδικασία χημικής μηχανικής στίλβωσης της κατασκευής ημιαγωγών. Ο πολτός CMP περιέχει συνήθως λειαντικά σωματίδια, χημικά πρόσθετα, οξειδωτικά, σταθεροποιητές και άλλα λειτουργικά συστατικά. Σκοπός του είναι να επιτύχει ελεγχόμενη αφαίρεση υλικού και επιπεδοποίηση επιφάνειας σε γκοφρέτες.

Σε σύγκριση με το υπερκαθαρό νερό ή τη γενική χημική διήθηση, η διήθηση πολτού CMP είναι πιο περίπλοκη. Το φίλτρο πρέπει να αφαιρεί υπερμεγέθη σωματίδια, συσσωματώματα, γέλες και μόλυνση χωρίς να αφαιρεί τα χρήσιμα λειαντικά σωματίδια που απαιτούνται για την απόδοση στίλβωσης.

Επομένως, το φιλτράρισμα CMP δεν αφορά απλώς την επιλογή της μικρότερης βαθμολογίας micron. Ένα κατάλληλο φυσίγγιο φίλτρου CMP πρέπει να εξισορροπεί τον έλεγχο σωματιδίων, τη σταθερότητα του πολτού, την απόδοση ροής, την πτώση πίεσης και τη συμβατότητα διεργασιών.

Στις διεργασίες CMP, η κατανομή μεγέθους σωματιδίων σχετίζεται στενά με την ποιότητα στίλβωσης. Εάν μεγάλα σωματίδια ή συσσωματώματα εισέλθουν στο σύστημα στίλβωσης, μπορεί να προκαλέσουν γρατσουνιές, ελαττώματα επιφάνειας, ασταθή ρυθμό αφαίρεσης ή απώλεια απόδοσης.

Ταυτόχρονα, εάν το φίλτρο είναι πολύ σφιχτό ή δεν είναι κατάλληλο για τον πολτό, μπορεί να αφαιρέσει χρήσιμα λειαντικά σωματίδια, να αλλάξει τις ιδιότητες του πολτού, να αυξήσει την πτώση πίεσης ή να μειώσει τη διάρκεια ζωής του φίλτρου.

Οι κύριοι στόχοι της διήθησης πολτού CMP περιλαμβάνουν:

• Αφαίρεση μεγάλων σωματιδίων και συσσωματωμάτων.
• Μείωση του κινδύνου γρατσουνιών κατά το γυάλισμα της γκοφρέτας.
• Διατήρηση σταθερής κατανομής σωματιδίων πολτού.
• Προστασία κατάντη αντλιών, βαλβίδων, ακροφυσίων και εργαλείων στίλβωσης.
• Υποστηρίζει σταθερή απόδοση στίλβωσης και σταθερότητα διαδικασίας.

Η επιλογή του υλικού του φίλτρου εξαρτάται από τη χημεία του πολτού, τον τύπο του λειαντικού, την τιμή του pH, τα οξειδωτικά συστατικά, τον ρυθμό ροής και την απαίτηση καθαριότητας.

• Φυσίγγια φίλτρων UPE χρησιμοποιούνται συνήθως σε πολτό υψηλής καθαρότητας και ηλεκτρονική χημική διήθηση λόγω των χαμηλών εκχυλίσιμων δυνατοτήτων τους, της καλής καθαριότητας και της σταθερής απόδοσης συγκράτησης σωματιδίων.
• Φυσίγγια φίλτρου PP μπορεί να χρησιμοποιηθεί για προδιήθηση πολτού ή λιγότερο επιθετικά συστήματα πολτού. Τα υλικά PP παρέχουν καλό έλεγχο κόστους και ευρεία συμβατότητα σε πολλές βιομηχανικές και ηλεκτρονικές εφαρμογές υγρών.
• Φυσίγγια φίλτρου PESμπορεί να επιλεγεί για ορισμένες εφαρμογές υδαρούς πολτού όπου απαιτούνται καλή απόδοση ροής και σταθερή απόδοση φιλτραρίσματος.
• Φυσίγγια φίλτρου PTFE μπορεί να ληφθεί υπόψη για ειδικά χημικά περιβάλλοντα που απαιτούν ισχυρότερη χημική αντοχή.

Σε πραγματικές εφαρμογές CMP, τα μέσα φίλτρου, το στρώμα στήριξης, ο πυρήνας, ο κλωβός, το ακραίο καπάκι και το υλικό στεγανοποίησης θα πρέπει να αξιολογούνται όλα μαζί για να αποφευχθούν προβλήματα συμβατότητας ή δευτερογενής μόλυνση.

Η ακρίβεια διήθησης πολτού CMP εξαρτάται από τον τύπο του πολτού και τον στόχο της διαδικασίας. Διαφορετικές διεργασίες CMP ενδέχεται να απαιτούν διαφορετικά επίπεδα φιλτραρίσματος. Ορισμένες εφαρμογές επικεντρώνονται στην απομάκρυνση μεγάλων σωματιδίων και συσσωματωμάτων, ενώ άλλες απαιτούν λεπτότερο έλεγχο των μολυσματικών ουσιών που είναι μικρότερες του μικρού.

Ωστόσο, το μικρότερο μέγεθος πόρων δεν είναι πάντα καλύτερο. Εάν το φίλτρο διατηρεί πάρα πολλά κανονικά λειαντικά σωματίδια, μπορεί να αλλάξει την αποτελεσματική συγκέντρωση σωματιδίων του πολτού και να επηρεάσει την απόδοση στίλβωσης. Εάν το φίλτρο είναι πολύ ανοιχτό, μπορεί να περάσουν μεγάλα σωματίδια και να αυξήσουν τον κίνδυνο γρατσουνιών.

Για αυτόν τον λόγο, η επιλογή φίλτρου CMP θα πρέπει να λαμβάνει υπόψη τόσο τον βαθμό διήθησης όσο και την πραγματική συμπεριφορά του πολτού, συμπεριλαμβανομένης της κατανομής μεγέθους σωματιδίων, του ιξώδους, του ρυθμού ροής, της πτώσης πίεσης και της διάρκειας ζωής του φίλτρου.

Τα φυσίγγια φίλτρου CMP μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε διαφορετικά σημεία του συστήματος τροφοδοσίας πολτού.

• Διήθηση παραγωγής πολτού
  Χρησιμοποιείται κατά την κατασκευή ή την προετοιμασία του πολτού για την αφαίρεση ανεπιθύμητων μεγάλων σωματιδίων και τη βελτίωση της συνοχής του προϊόντος.
• Διήθηση βρόχου διανομής
  Χρησιμοποιείται σε συστήματα κυκλοφορίας πολτού για τον έλεγχο των σωματιδίων που παράγονται κατά την αποθήκευση, την άντληση ή τη μεταφορά.
• Φιλτράρισμα σημείου χρήσης
  Εγκατεστημένο κοντά σε εργαλεία CMP για να παρέχει τον τελικό έλεγχο των σωματιδίων πριν ο πολτός φτάσει στην επιφάνεια στίλβωσης ή στην επιφάνεια της γκοφρέτας.
• Φιλτράρισμα προστασίας στην πλευρά του εργαλείου
  Χρησιμοποιείται για την προστασία των ακροφυσίων, των βαλβίδων και των γραμμών παροχής από μπλοκάρισμα που προκαλείται από συσσωματώματα ή υπολείμματα διεργασίας.

Ένα καλά σχεδιασμένο σύστημα φιλτραρίσματος μπορεί να χρησιμοποιεί σταδιακή διήθηση για τη σταδιακή μείωση του φορτίου σωματιδίων και την προστασία των τελικών φίλτρων υψηλής ακρίβειας.

Το φιλτράρισμα CMP απαιτεί προσεκτική αξιολόγηση τόσο της απόδοσης του φίλτρου όσο και της σταθερότητας του πολτού.

• Το πρώτο μέλημα είναι ο έλεγχος των σωματιδίων. Το φίλτρο θα πρέπει να αφαιρεί αποτελεσματικά υπερμεγέθη σωματίδια και συσσωματώματα που μπορεί να προκαλέσουν ελαττώματα γκοφρέτας.
• Η δεύτερη ανησυχία είναι η συμβατότητα του πολτού. Το φίλτρο δεν πρέπει να αλλάζει σημαντικά την κατανομή χρήσιμων λειαντικών σωματιδίων.
• Η τρίτη ανησυχία είναι η πτώση πίεσης. Η υπερβολική πτώση πίεσης μπορεί να επηρεάσει τη σταθερότητα παροχής πολτού και να αυξήσει το φορτίο του συστήματος.
• Η τέταρτη ανησυχία είναι η χημική συμβατότητα. Το υλικό του φίλτρου πρέπει να ταιριάζει με τη χημεία του πολτού και τις συνθήκες λειτουργίας.
• Το πέμπτο μέλημα είναι η καθαριότητα. Η χαμηλή εξαγωγή, η χαμηλή αποβολή σωματιδίων και η καθαρή κατασκευή είναι σημαντικά για εφαρμογές ημιαγωγών.
• Το έκτο μέλημα είναι η διάρκεια ζωής. Το φίλτρο πρέπει να παρέχει σταθερή λειτουργία χωρίς συχνή απόφραξη ή πρόωρη αντικατάσταση.
• Η έβδομη ανησυχία είναι η αξιοπιστία σφράγισης. Οποιαδήποτε διαρροή bypass μπορεί να μειώσει την αποτελεσματικότητα του φιλτραρίσματος και να αυξήσει τον κίνδυνο της διαδικασίας.

Η Pullner παρέχει λύσεις φυσιγγίων φίλτρων για διήθηση πολτού CMP και εφαρμογές υψηλής καθαρότητας που σχετίζονται με ημιαγωγούς. Τα διαθέσιμα μέσα φίλτρου περιλαμβάνουν UPE, PP, PES, PTFE, Nylon, PVDF και άλλα υλικά σύμφωνα με διαφορετικές απαιτήσεις διαδικασίας.

Η Pullner μπορεί να υποστηρίξει τους πελάτες στην επιλογή κατάλληλων φίλτρων CMP με βάση τον τύπο πολτού, τη θέση διήθησης, τον ρυθμό ροής, την πίεση, τη θερμοκρασία, τον στόχο ελέγχου σωματιδίων, το υπάρχον μοντέλο φίλτρου, τα σχέδια ή τα δείγματα.

Για πελάτες που αντιμετωπίζουν μόλυνση από σωματίδια πολτού, πτώση υψηλής πίεσης, μικρή διάρκεια ζωής φίλτρου, ασταθή απόδοση στίλβωσης ή εισαγόμενες ανάγκες αντικατάστασης φίλτρου, η Pullner μπορεί να βοηθήσει στην ανάλυση της κατάστασης λειτουργίας και να προτείνει μια κατάλληλη λύση φιλτραρίσματος.

Τα φυσίγγια φίλτρου πολτού CMP παίζουν σημαντικό ρόλο στις διαδικασίες στίλβωσης ημιαγωγών. Ο σκοπός τους δεν είναι μόνο να αφαιρέσουν τα σωματίδια, αλλά και να διατηρήσουν τη σταθερότητα του πολτού και να μειώσουν τους κινδύνους ελαττωμάτων του πλακιδίου.

Ένα κατάλληλο φίλτρο CMP θα πρέπει να εξισορροπεί την αφαίρεση σωματιδίων, τη συμβατότητα του πολτού, την πτώση πίεσης, την απόδοση ροής, την καθαριότητα και τη διάρκεια ζωής.

Η Pullner έχει δεσμευτεί να παρέχει αξιόπιστες, οικονομικά αποδοτικές και προσαρμοσμένες λύσεις φυσιγγίων φίλτρου πολτού CMP για πελάτες ημιαγωγών σε όλο τον κόσμο.